"Aber er ist so dunkel . “ „ Jo , dunkel , dees waar mögli . Alle , dia , wo " s Leben
auf d ' Seit ' m schmeißt , an dunkel “ , sagt Dismas aus einem tiefen Wiffen
heraus . Er denkt daran , wie schwere Mühe es ihm gekostet hat , sich zu
erhellen ."
"Dr.-Ing. DIETRICH WIDMANN Abteilungsleiter im Unternehmensbereich
Bauelemente der Siemens AG, München Dr.-Ing. HERMANN MADER Professor,
Fachbereich Elektrotechnik der Fachhochschule München Fraunhofer-Institut für
Mikrostrukturtechnik, Berlin Dr.-Ing. HANS FRIEDRICH Leiter des MEGA-
Projektes der Siemens AG, München Dr. rer. nat. WALTER HEYWANG Leiter der
Zentralen Forschung und Entwicklung der Siemens AG, München Professor an
der ..."
"Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozeßintegration für den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozeßtechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuaufla ..."
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